Ai350HT型离子注入机采用成熟的光路单元技术。光路系统主要包括离子源、引出系统、质量分析器、磁透镜、加速管、静电扫描、平行透镜、靶室和片库等。配置高温加热靶台,金属Al离子源,全自动晶片传输系统。
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二佛出世:原指佛祖释迦牟尼诞生到世间的盛事,后用来形容极为难得、罕见的事情发生,如同佛祖出世二般稀有。